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蓝宝石退火炉高温隔热解决方案

2020-11-10 11:08:03

蓝宝石晶体(Al2O3)是超高亮度的蓝、白光LED发光材料GaN常用的衬底材料, 而GaN嘉晶的晶体质量与所使用的监宝石衬底(基板)表面加工质量密切相关,尤其是图形化衬底(PSS)与晶片的表面形貌、翘曲程度联系密切,同时,晶片的翘曲程度过大,会在平片做GaN磊晶时,平片与外延薄膜脱落,PSS难以聚焦,影响外延品质。下面蓝宝石退火炉厂家小编主要说说关于退火炉系列切割需要注意的事项以及隔热所解决的方案。


在蓝宝石衬底的切害I]、双面研磨以及单面研磨、抛光过程中,尽管部分的加工应力会在下一道加工工序释放,但是这种应力释放是无序释放,同时未释放的加工应力会在晶片表面集聚,影响蓝宝石晶片的翘曲程度,严重的翘曲会在后道加工过程产生破片,影响整个加工循环的晶片质量。蓝宝石衬底在加工过程中,必须经过退火处理以降低加工应力,目前的退火工艺采用一步升温至退火温度,未经过过程保温,加工应力释放不均匀,且蓝宝石晶片在退火炉中始终不动,炉子的温度场对加工释放均匀性影响极大,对大尺寸的蓝宝石晶片影响更为明显。


蓝宝石退火炉概述


α-Al2O3单晶又称蓝宝石,俗称刚玉,是一种简单配位型氧化物晶体。它是由99.99%以上纯度氧化铝粉末加工而成,其生长过程就是在超高温炉中,我们按应用称其为蓝宝石炉,按使用温度又分为蓝宝石生长炉和蓝宝石退火炉,又称晶体生长炉和晶体退火炉。  


晶体生长炉和退火炉尺寸都比较小。


蓝宝石长晶炉、退火炉保温结构


蓝宝石炉用高温隔热材料:  


晶体生长炉:2100℃~2250℃,炉膛采用氧化锆耐火砖+氧化铝纤维板背衬。  


晶体退火炉:1500℃~1800℃,炉膛采用氧化锆板或氧化铝板+含锆陶瓷纤维板多层复合,以及配套粘结剂。


技术优势


蓝宝石炉应用耐火纤维板优势:  


蓝宝石炉应用纤维板后优势:以工作温度1600度、容积1L的蓝宝石退火炉为例,炉膛采用氧化锆纤维板+氧化铝纤维板多层复合轻型纤维材料,比传统马弗炉重量减轻了2/3;具有体积小、重量轻、移动便携、性能优良、精巧美观、保温节能等优点。

蓝宝石退火炉厂家.jpg

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